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中圖納米成像掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對(duì)真空度要求不高，使得鎢燈絲臺(tái)式掃描電鏡能夠在較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測(cè)效率，節(jié)省了時(shí)間成本。

中圖儀器臺(tái)式掃描電鏡儀器運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì)，讓用戶在使用時(shí)不再等待，且全系列可選配低真空系統(tǒng)，以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度，滿足不同樣品的觀測(cè)需求。此外，該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設(shè)備在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

國產(chǎn)中圖共焦顯微鏡主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量。它以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)，保證儀器的高測(cè)量精度。

NS系列納米級(jí)臺(tái)階儀線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。

SuperViewW白光干涉3D形貌儀可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。