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中圖儀器SJ6000激光干涉光學測量儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

精密測量SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

GTS國產(chǎn)激光跟蹤精密測量儀集合了激光干涉測距技術、光電探測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現(xiàn)代數(shù)值計算理論等技術，可對空間運動目標進行跟蹤并實時測量目標的空間三維坐標。是同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器?？捎糜诔叽鐪y量、安裝、定位、校正和逆向工程等應用。

中圖儀器國產(chǎn)GTS光學測量激光跟蹤儀集激光干涉測距技術、光電檢測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，可用于尺寸測量、安裝、定位、校正和逆向工程等應用，在大尺度空間測量工業(yè)科學儀器中具有高精度和重要性。

以激光干涉技術為核心，SJ6000工業(yè)激光干涉測量儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠?？蓹z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。